隨著人們對清洗技術和產品的要求越來越高，研發出了超聲波氣相清洗機，相比一般的超聲波清洗機，其不同之處在于清洗所使用的清洗溶劑，由于清洗溶劑的特殊性，使得整個清洗設備的結構都也變得更為繁雜，除了超聲波清洗外，還設有蒸汽浴洗、冷凍干燥、溶劑回收等設備。

　　清洗時不使用水基清洗溶劑，而是采用氟利昂、甲醇、三氯乙烯、二甲苯等溶劑作為清洗劑。清洗時，同樣是通過超聲波引起空化效應來進行清洗，由于氣相式超聲波清洗機所使用的清洗溶劑具有很強的溶解油污能力，使得工件在非常短的時間內可以清洗干凈。經過多道工序，包括超聲波粗洗和精洗，再經過蒸汽浴洗環節，在蒸汽浴洗區域內，工件遇到蒸汽后產生凝露，并與工件表面的污物產生作用后，隨著液滴下落而帶走污物。再將工件放到冷凍區域內，進行冷凍干燥。

　　超聲波氣相清洗機的主要特點有如下六個：

　　1、采用三(四)氯乙烯等清洗溶劑作為清洗介質。適用于粉末冶等行業清洗作業。

　　2、全封閉結構工件在抽風設備完善的密閉空間內自動完成清洗作業，對環境影響小。

　　3、采用不銹鋼鏈條步進自動傳送形式，清洗效率高。

　　4、全自動運轉，工件在抽風設備完善的密閉空間內自動清洗作業，只需要操作人員進行上下工件操作，由于上下料端還特別設計有配重拉索門，工作現場空氣中有機溶劑含量低，是一個較為安全的清洗作業方案。

　　5、配套工業冷水機組提供低溫循環水冷卻，清洗液揮發小。

　　6、配套蒸餾回收箱，可直接對溶劑進行蒸餾再生處理，清洗液損耗少，使用經濟性好。